تشاك الكهربائي الثابت ESC هو جهاز تشديد الوافير الأساسي في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، مع الامتصاص الكهربائي الثابت كمبدأ أساسي. إنه يشكل حقلا كهربائيا ثابتا عن طريق تطبيق الجهد العالي ويحقق تثبيت بلا اتصال للشرائح من خلال قوة كولومب أو قوة جونسون-ربيك ، وتخدم كمكون رئيسي لا غنى عنه في عمليات الفراغ مثل حفر البلازما وزرع الأيونات وتراسب الأفلام الرقيقة.
يتم تكييف هذا المنتج لبيئات العملية القاسية بما في ذلك الظروف غير المغناطيسية والفراغ العالي جدا من 10 ⁻⁵ Pa وأسفل ، ويمكن أن تمتص بشكل مستقر مختلف المواد العازلة مثل الصفيحات والزفير والزجاج. يدعم تصاميم مخصصة للأقطاب الكهربائية ثنائية القطب ومتعددة القطب ومتعددة الرقمات ، مع دقة المسطحة العالمية لسطح الامتصاص التي تصل إلى 1 ميكروم والتوازي أفضل من 5 ميكروم. قوة الامتصاص هي ≥10N تحت الجهد الامتصاص القياسي ، وتبقى قوة الامتصاص المتبقية فوق 60٪ لمدة 24 ساعة ، مما يتيح الحفاظ على تأثير التشديد المستقر لفترة طويلة.
من حيث الهيكل والأداء ، يتم تغطية تشاك الكهربائي الثابت ESC بأفلام سيراميكية عالية التوصيل الحراري مثل نيتريد الألومنيوم ونيتريد السيليكون ، والتي تجمع بين مقاومة تآكل البلازما الممتازة والقوة الميكانيكية. بعض المنتجات الراقية تدمج أقطاب التحكم في درجة الحرارة متعددة المناطق ونظام تبريد الهيليوم على الجانب الخلفي لتحقيق تنظيم دقيق وموحد لدرجة حرارة الصفيحة ، وتجنب تشويه الصفيحة أو ترسب الأفلام الرقيقة غير المتساوية الناجمة عن الإجهاد الحراري. في الوقت نفسه ، يتم توزيع قوة امتصاصها بشكل متساو دون نقاط الإجهاد المحلية ، والتي يمكن أن تحمي بفعالية سلامة سطح المواد الهشة مثل الألواح الرقيقة جدا والمكونات البصرية الدقيقة ، والقضاء على الخدوش ومشاكل التشوه الناجمة عن التشديد الميكانيكي.
في الوقت الحاضر ، أصبحت تشاك الكهربائية الثابتة ESC مكونًا أساسيًا لمعدات تصنيع الدوائر المتكاملة على نطاق واسع جداً، وتطبق على نطاق واسع في عمليات مثل قياس الوافيرات واللوحات الإلكترونية وتعبئة رقائق أشباه الموصلات. علاوة على ذلك ، يمكن تصميم المعلمات بما في ذلك عدد الأقطاب الكهربائية ومواصفات المسطحة والأبعاد العامة حسب متطلبات العملية ، والتكيف مع سيناريوهات معالجة الأوراق ذات المواصفات المختلفة مثل 8 بوصة و 12 بوصة.